Le dveloppement de ce travail est n comme une prparation  un futur projet du CEMMPRE qui consiste en la production de films minces DLC pour les segments de piston des moteurs  combustion interne  haute compression dposs par HiPIMS en mode DOMS. L'objectif de ce travail est d'tudier l'influence de certains paramtres de dpt dans les chantillons, afin d'obtenir une ligne directrice  suivre dans le projet. La variation du biais du substrat montre qu'en augmentant le biais du substrat dans le processus de dposition, la duret des revtements DLC augmente. En augmentant le biais du substrat, les ions de carbone dans le plasma sont attirs avec plus d'lan vers le substrat et il en rsulte une structure plus compacte des films. Dans le cadre de cette thse, du Ne est produit dans le gaz de dcharge et les effets du Ne sont tudis. Le Ne augmente le degr d'ionisation du carbone dans le plasma, ce qui augmente le ratio sp3 dans la structure du film. Puisque sp3 est une hybridation plus puissante, les revtements dposs avec Ne montrent plus de duret dans le test de Nano indentation.